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配置點天博体育下载地址的光學筆—OPILB系列

為優化天博体育下载地址選擇,起首依據您的準確度和丈量范圍需求選擇光學筆,這是至關緊張的。 

光學筆或光學探針是天博体育下载地址的丈量頭。 經過光纖銜接到控制器。

種種光學筆由差異的丈量范圍和區分率來定義。一個控制器可配置多支光學筆應用。  

光譜共聚焦技術,是差異模范高精度丈量的優化料理方案。每個光學筆提供一個变乱距離、一個丈量動態、目的光斑尺寸、以及光束角度,這便是其共同之處。

光學筆在與目的非打仗的環境下實行丈量。 丈量時不會變化目的形狀。 別的,經過準確的選擇丈量動態,在类似物體上舉行一系列丈量時不消要將光束重新聚焦于目的。

由于光譜共焦光學筆不需任何動力,也沒有移動零部件,因此準繩上它們不可變化,且不消要在一系列丈量進程中舉行重置或歸零。




CL-MG OP ENDO OPILB
外貌形狀
厚度
距離




OPILB系列光學筆

兼容STIL-DUO

l 對振動不敏感

丈量最小厚度:0.4

厚度情势區分率:軸向區分率為0.3nm,精度為10nm

OPILB系列光學筆在STIL-DUO的配置參數
型號
OPILB-RP OPILB-LWD-D OPILB-LWD-T OPILB
丈量情势 - 距離 距離 厚度 厚度
丈量范圍 μm 135 135 - -
变乱距離 mm 9.7 4.6 9.2 42
最大樣本斜率 deg ±17° ±17° ±17° ±5.4°
參考平面 (1) - Yes No No No
縮小鏡模型
MG MG MG MG MG MG MG MG
210 140 210 140 70 35 20 -
橫向屬性








光斑尺寸(直徑)(3) μm 3.8 5.7 3.8 5.7 11.4 22.9 40.2 32
橫向區分率(2) μm 1.9 2.8 1.9 2.8 5.7 11.4 20 20
產品外表尺寸








長度(4) mm 200 164 200 164 131 100 84 145.5
直徑 (4) mm 27 27 27 27 27 27 27 27
重量 g 200 127 200 127 126 67 52 155
遵从
距離丈量




- -
靜態噪音 (5) nm 0.5 2
準確度 (6) nm 10 10
丈量粗糙金屬外貌 (7) - NR NR
厚度丈量








最小可測厚度 (8) μm - - - -
0.4 0.4 0.4
最大可測厚度 (8) μm - - - -
90 90 90
靜態噪聲 (5) nm - - - - 14 0.3 0.3 0.3
準確度 (6) nm - - - - 510 10 10 10
(1)將參考平面直接放在樣品上。 OPILB-RP的參考板用作相對參考。它補償了掃描體系的機器缺陷。
(2)橫向區分率定義為光斑直徑的一半。
(3)在丈量范圍的中心謀略的多少光斑尺寸,沒有衍射(指示值)。
(4)不包括光纖電纜的長度和重量。
(5)在靜態樣本上丈量的RMS噪聲水平。在位于最佳位置的樣品上以最佳速率舉行丈量。
(6)精度是在將天博体育下载地址丈量的距離與1 nm準確編碼器確定的樣層次置舉行比擬時,在整個丈量范圍內觀察到的最小气向。
(7)R =引薦用于丈量金屬樣品(這些樣品可以全部遵从丈量)。 NR =不引薦用于丈量金屬樣品(可以丈量這些樣品,但遵从高漲)。
(8)這些值適用于折射率為1.5的樣品(當丈量氣隙的厚度時,應乘以1.5)。



OPILB系列光學筆

兼容STIL-DUO

l 對振動不敏感

丈量最小厚度:0.4

厚度情势區分率:軸向區分率為0.3nm,精度為10nm

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