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STIL DUO ---雙重技術“點”天博体育下载地址
? 世界上第一個提供兩種同時丈量技術的體系:光譜共焦原理 和 具有原始共焦設置的白光干預干預原理。
? STIL的光譜共焦原理可丈量范圍從130μm到42mm。十分適用于粗糙度和外貌形貌丈量,在任何模范的質料上都可失失十分高的準確度,無論是反射還是散射。丈量切合新ISO25178規范。
? STIL的共焦光譜干預干預丈量法,可失失亞納米區分率(<1nm)的厚度和形貌丈量結果,可在大于100μm的丈量范圍內舉行丈量,且樣品的最小可測厚度為0.4μm。
? 美滿適用于產業環境,很多輸入和輸入以及軟件開拓套件,接口十分大約。
      


  1. l 白光光譜干預干預情势

- 振動不敏感(OPILB-RP光學筆)

- 高信噪比(OPILB-RP光學筆)

- 不需垂直掃描

- 最小可測厚度0.4μm

- 光學原理固有的亞納米區分率

- 共焦使相鄰點之間無滋擾,

- 厚度丈量上具有风雅遵从(0.3nm區分率,10nm精度)

 

  1. l 光譜共聚焦情势

- 應用Multipeak軟件舉行多層樣品丈量




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