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配置點天博体育下载地址的光學筆—ENDO系列

為優化天博体育下载地址選擇,起首依據您的準確度和丈量范圍需求選擇光學筆,這是至關緊張的。 

光學筆或光學探針是天博体育下载地址的丈量頭。 經過光纖銜接到控制器。

種種光學筆由差異的丈量范圍和區分率來定義。一個控制器可配置多支光學筆應用。  

光譜共聚焦技術,是差異模范高精度丈量的優化天博体育。每個光學筆提供一個变乱距離、一個丈量動態、目的光斑尺寸、以及光束角度,這便是其共同之處。

光學筆在與目的非打仗的環境下實行丈量。 丈量時不會變化目的形狀。 別的,經過準確的選擇丈量動態,在类似物體上舉行一系列丈量時不消要將光束重新聚焦于目的。

由于光譜共焦光學筆不需任何動力,也沒有移動零部件,因此準繩上它們不可變化,且不消要在一系列丈量進程中舉行重置或歸零。



CL-MG OP ENDO OPILB
外貌形狀
厚度
距離




ENDO系列光學筆

兼容全部STIL天博体育下载地址

直徑十分小:4mm6mm8mm

l 淘汰变乱空間的需要

l 距離情势區分率:始于20nm

Endo光學筆在CCS系列控制器(CCS Optima+ 、CCS prima+、CCS Prima)配置參數
產品型號
E401-100-N1 E608-100-N1 E609-100-N1 C606-100-N2 E603-100-N2 C607-100-N3 E610-100-N1 PHI8-200-N1 PHI8-300-N2 PHI8-300-N3 PHI8-300-N1 PHI8-400-N3 PHI8-400-N1 PHI8-100-N3
示例 單位 ENDO 2,0/D4  ENDO 0,1/D6 ENDO 0,3/D6 ENDO 0,3/D6-90 ENDO 1,2/D6 ENDO 1,5/D6-90 ENDO 2,0/D6 ENDO 0,2/D8 PROBE 10/D8 U PROBE 10/D8 S PROBE 10/D8 L PROBE 10/D8 ST PROBE 10/D8 LT ENDO 10/D8-90
丈量范圍 μm 2000 100 300 300 1200 1500 2000 200 10000 10000 10000 10000 10000 10000
变乱距離 mm 5.6 1.1 1.1 0.8 2.3 0.8 12 4.8 9 9 9 9 9 5
數值孔徑
0.12 0.41 0.185 0.185 0.22 0.19 0.13 0.39 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.095
最大樣本斜率 ° 5 24 10 10 13 10 7 23 ±4,5 ±4,5 ±4,5 ±4 ±4 5.4
軸向或徑向模型
軸向 軸向 軸向 徑向 軸向 徑向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 徑向
 光斑尺寸 μm 30 6.25 5.6 5.6 15 19.5 7.1 4.6 35 35 35 18 18 41.6
橫向區分率 μm 15 3.2 2.8 2.8 7.5 10 3.6 2.3 17.5 17.5 17.5 9 9 21
能量網絡
46 31 3 2.7 46 53 2.5 12.5 28 28 28 6 6 17
靜態噪音 nm 300 25 50 50 160 220 250 30 900 900 900 600 600 900
最大線性方向 nm 400 45 85 100 200 300 350 70 1000 1000 1000 1100 1100 1200
最小可丈量厚度 μm 500 35 75 75 140 210 140 25 900 900 900 450 450 1000
長度 mm 53.8 58.9 71.2 69.9 75.2 89.2 93 67.8 52 85 141 85 141 87
直徑 mm 4 6 8
重量 g 8 10 10 10 10 12 15 15 18 20 26 20 26 20


















Endo 在 STIL-DUO控制器的配置參數

產品型號
E401-100-N1 E608-100-N1 E609-100-N1 C606-100-N2 E603-100-N2 C607-100-N3 E610-100-N1 PHI8-200-N1 PHI8-300-N2 PHI8-300-N3 PHI8-300-N1 PHI8-400-N3 PHI8-400-N1 PHI8-100-N3
示例 unit ENDO 2,0/D4  ENDO 0,1/D6 ENDO 0,3/D6 ENDO 0,3/D6-90 ENDO 1,2/D6 ENDO 1,5/D6-90 ENDO 2,0/D6 ENDO 0,2/D8 PROBE 10/D8 U PROBE 10/D8 S PROBE 10/D8 L PROBE 10/D8 ST PROBE 10/D8 LT ENDO 10/D8-90
丈量范圍 μm - - - - - - - - - - - - - -
变乱距離 mm 5.6 1.1 1.1 0.8 2.3 0.8 12 4.8 9 9 9 9 9 5
數值孔徑
0.12 0.41 0.185 0.185 0.22 0.19 0.13 0.39 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.095
最大樣本斜率 ° 5 24 10 10 13 10 7 23 ±4,5 ±4,5 ±4,5 ±4 ±4 5.4
軸向或徑向模型
軸向 軸向 軸向 徑向 軸向 徑向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 軸向 徑向
 光斑尺寸 μm 30 6.25 5.6 5.6 15 19.5 7.1 4.6 35 35 35 18 18 41.6
橫向區分率 μm 15 3.2 2.8 2.8 7.5 10 3.6 2.3 17.5 17.5 17.5 9 9 21
能量網絡
46 31 3 2.7 46 53 2.5 12.5 28 28 28 6 6 17
靜態噪音 nm 300 25 50 50 160 220 250 30 900 900 900 600 600 900
最大線性方向 nm - - - - - - - - - - - - - -
最小可丈量厚度 μm 500 35 75 75 140 210 140 25 900 900 900 450 450 1000
長度 mm 53.8 58.9 71.2 69.9 75.2 89.2 93 67.8 52 85 141 85 141 87
直徑 mm 4 6 8
重量 g 8 10 10 10 10 12 15 15 18 20 26 20 26 20


ENDO系列光學筆

兼容全部STIL天博体育下载地址

直徑十分小:4mm6mm8mm

l 淘汰变乱空間的需要

l 距離情势區分率:始于20nm

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