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3D丈量體系

MICROMESURE STATION 3D

Micromesure是一個模塊化非打仗式丈量站，專門用于高區分率3D微型拓撲圖以及外形和紋理闡發。

它可以丈量物體的外表或外貌以及透明質料的厚度。

該平臺包括：

由3個電機軸X/Y/Z構成的MICROSTEP單位、一個或多個裝備差異丈量東西的CHR天博体育下载地址、一個或多個攝像機、用于自動互換丈量東西的體系(可選)。

一個控制單位，包括裝備幾個特定卡的PC謀略機。

數據征求軟件“SurfaceMap”（由STIL開拓）允許經過人機界面控制臺站。

后處置懲罰軟件SPIP TM（由Image Metrology開拓）-可選

裝備CCS-Prima，Optima +，STIL-DUO或SPS Alpha天博体育下载地址的MICROMESURE 2體系玄色打仗式外貌丈量的志向東西，包括3D粗糙度、外形丈量和3D微觀形貌丈量。

MICROMESURE 2體系富裕應用了STIL非打仗式天博体育下载地址在種種運用和范圍的风雅遵从。

MICROMESURE 2體系是一個“交鑰匙”體系，提供征求控制配置和必要的軟件，陈设后即可運轉。

下風：

MPLS，CCS和CHR天博体育下载地址的集成
可擔當任何質料
無需樣品制備
體系完全自動化
模塊化架構
天博体育下载地址自動選擇
高準確度寂靜直度

基于光譜共焦天博体育下载地址：

非打仗式尺寸丈量
納米和微米區分率
白光天博体育下载地址（無斑點，丈量范圍寬）
同軸丈量（無陰影）
鏡面（反光）外貌上的局部高斜坡
對環境光不敏感
可以丈量金屬，玻璃，半導體，陶瓷...等
透明物體厚度&外形丈量
丈量范圍寬（從20微米到24毫米）

基于高質量掃描體系：

Z軸上，0,1μm編碼器（系列產品）
X和Y軸上，0,1μm編碼器（可選）
低振動
正交寂靜坦度校正
透明的变乱間，抑制氣氛震蕩

配置MPLS180-DM天博体育下载地址的MICROMESURE 2

l 3個光學頭可選擇：NanoView，MicroView和DeepView

l MPLS180的流量十分高，大面積丈量的延續時間可從幾小時收縮到幾分鐘（或幾秒）！

l 包括公用軟件：LineSensorMap

X & Y			Y
組態	3M - 1R	3M - 3R	3 M-1R & 3M-3R
行程	100 mm	100mm	50 mm
編碼器	No	Yes	Yes
精準性	10μm / 1 mm	1μm / 100mm	1μm / 100mm
區分率	0.1μm	0.1μm	0.1μm
粗糙度	1μm / 1 mm	1μm / 100mm	1μm / 100mm
最大速率	20mm / s	20mm / s	5mm / s

運用模范：
l 外形和紋理闡發
l 機器檢測著末
l 外貌特性
l 3D高度和地形/厚度/外表丈量
l 粗糙度丈量
l 尺寸丈量

運用范圍：
l 機器學（粗糙度，摩擦學，3D丈量，蛻化闡發...）
l 玻璃行業（浮法玻璃在線厚度控制，3D丈量...）
l 微電子（粗糙度，3D度量，缺陷闡發...）
l 光學（粗糙度，3D度量...）
l 鐘表制造（平整度，粗糙度，厚度...）
l 核燃料產業（粗糙度，摩擦學，3D計量學，蛻化闡發...）
l 航空（粗糙度，渦輪外形）

可選項：
l 后處置懲罰軟件：來自Image Technology的SPIP
l X和Y軸線性編碼器用于真正的三維丈量（位置精度= 1μm/ 100 mm））
l 錄像機
l 用于互換光學筆的大約刀塔或雙刀塔
l 減震支架
l 1軸和2軸配置
l X＆Y行程達300毫米
l Z行程達100毫米

計量工件：
l 校準的凹槽（深度=10μm））
l 粗糙度規范（Ra = 0,8μm）
l 光學平面（直徑= 140毫米）
l 偏移十字線（用于設置攝像機偏移）

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