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3D丈量體系

MICROMESURE STATION 3D

Micromesure是一個模塊化非打仗式丈量站,專門用于高區分率3D微型拓撲圖以及外形和紋理闡發。
它可以丈量物體的外表或外貌以及透明質料的厚度。

該平臺包括:
由3個電機軸X/Y/Z構成的MICROSTEP單位、一個或多個裝備差異丈量東西的CHR天博体育下载地址、一個或多個攝像機、用于自動互換丈量東西的體系(可選)。
一個控制單位,包括裝備幾個特定卡的PC謀略機。
數據征求軟件“SurfaceMap”(由STIL開拓)允許經過人機界面控制臺站。
后處置懲罰軟件SPIP TM(由Image Metrology開拓)-可選
                     
裝備CCS-Prima,Optima +,STIL-DUO或SPS Alpha天博体育下载地址的MICROMESURE 2體系玄色打仗式外貌丈量的志向東西,包括3D粗糙度、外形丈量和3D微觀形貌丈量。
MICROMESURE 2體系富裕應用了STIL非打仗式天博体育下载地址在種種運用和范圍的风雅遵从。
MICROMESURE 2體系是一個“交鑰匙”體系,提供征求控制配置和必要的軟件,陈设后即可運轉。

下風:

  • MPLS,CCS和CHR天博体育下载地址的集成
  • 可擔當任何質料
  • 無需樣品制備
  • 體系完全自動化
  • 模塊化架構
  • 天博体育下载地址自動選擇
  • 高準確度寂靜直度



基于光譜共焦天博体育下载地址:
  • 非打仗式尺寸丈量
  • 納米和微米區分率
  • 白光天博体育下载地址(無斑點,丈量范圍寬)
  • 同軸丈量(無陰影)
  • 鏡面(反光)外貌上的局部高斜坡
  • 對環境光不敏感
  • 可以丈量金屬,玻璃,半導體,陶瓷...等
  • 透明物體厚度&外形丈量
  • 丈量范圍寬(從20微米到24毫米)

基于高質量掃描體系:
  • Z軸上,0,1μm編碼器(系列產品)
  • X和Y軸上,0,1μm編碼器(可選)
  • 低振動
  • 正交寂靜坦度校正
  • 透明的变乱間,抑制氣氛震蕩





配置MPLS180-DM天博体育下载地址的MICROMESURE 2

l 3個光學頭可選擇:NanoViewMicroViewDeepView

l MPLS180的流量十分高,大面積丈量的延續時間可從幾小時收縮到幾分鐘(或幾秒)!

包括公用軟件:LineSensorMap

 X & Y

Y

組態

3M - 1R

3M - 3R

3  M-1R & 3M-3R

行程

100 mm

100mm

50 mm

編碼器

No

Yes

Yes

精準性

10μm / 1 mm

1μm / 100mm

1μm / 100mm

區分率

0.1μm

0.1μm

0.1μm

粗糙度

1μm / 1 mm

1μm / 100mm

1μm / 100mm

最大速率

20mm / s

20mm / s

5mm / s

運用模范:
l 外形和紋理闡發
l 機器檢測著末
l 外貌特性
l 3D高度和地形/厚度/外表丈量
l 粗糙度丈量
l 尺寸丈量


運用范圍:
l 機器學(粗糙度,摩擦學,3D丈量,蛻化闡發...)
l 玻璃行業(浮法玻璃在線厚度控制,3D丈量...)
l 微電子(粗糙度,3D度量,缺陷闡發...)
l 光學(粗糙度,3D度量...)
l 鐘表制造(平整度,粗糙度,厚度...)
l 核燃料產業(粗糙度,摩擦學,3D計量學,蛻化闡發...)
l 航空(粗糙度,渦輪外形)


可選項:
l 后處置懲罰軟件:來自Image Technology的SPIP
l X和Y軸線性編碼器用于真正的三維丈量(位置精度= 1μm/ 100 mm))
l 錄像機
l 用于互換光學筆的大約刀塔或雙刀塔
l 減震支架
l 1軸和2軸配置
l X&Y行程達300毫米
l Z行程達100毫米


計量工件:
l 校準的凹槽(深度=10μm))
l 粗糙度規范(Ra = 0,8μm)
l 光學平面(直徑= 140毫米)
l 偏移十字線(用于設置攝像機偏移)


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