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【圖示】光譜共焦成像的光學原理?它可運用于哪些丈量范圍?

光譜共焦成像基于2個準繩:

天博体育下载链接 l 共焦成像

天博体育下载链接 l 光軸的玄色編碼。

 

共焦裝置是一種光學裝置,光學體系在物體的外貌上孕育發生點光源S的圖像S’。反向散射光由类似的光學體系網絡,該光學體系在針孔S’’處成像。針孔被置于光電探測器的前面,它過濾可以抵達光電探測器的光芒,因此它也被稱為“空間濾波器”。共焦裝置的特點是具有特別的信噪比。依據CCI原理,光學體系是玄色光學頭,光電探測器是一個光譜儀。


光軸的玄色編碼意味著光學體系具有軸向色差:每個波長聚焦在沿該軸的差異點上。如今假定一個樣本存在于色譜編碼范圍內,多么波長λ0就集聚焦在它的外貌上。當反射(或后向散射)光束抵達針孔平面時,波長的光芒集聚焦在針孔上,以便它們可以穿過針孔并抵達光譜儀的敏感地域。其他波長成像為大點,因此它們被針孔阻攔。該光譜儀經過識別波長λ0來“解讀”樣層次置。

 

光譜儀信號與已網絡光的光譜再分派相對應。它出現一個光譜峰值。當物體在丈量范圍內位移時,光譜儀上的光譜峰值隨之發生改造。


運用范圍:


光譜共聚焦天博体育下载地址既可用于產業環境中,也可用于消費進程中的在線檢測以及實行室環境中的高精度儀器。他們紧张涵蓋以下內容:


l 微形貌(丈量樣品的外形和外貌特性)

天博体育下载链接 l 尺寸控制(測試制造產品的特定尺寸可否切合規格)

質量控制 (制造產品缺陷的識別和特性形貌)

天博体育下载链接 l 粗糙度丈量(丈量樣品外貌的統計特性)

天博体育下载链接 l 摩損度(表征機器或化學腐蝕)

l 厚度丈量

 

光譜共焦天博体育下载地址完全切合觸及3D真實外貌紋理的丈量和闡發的ISO 25178規范。別的,此規范第601章節快乐于非打仗式外貌丈量,援用CCI作為第一參考技術原理。

光譜共焦天博体育下载地址可以丈量險些任何模范的質料(玻璃,陶瓷,塑料,半導體,金屬,織物,紙張,皮革等)制成的樣品。它們可以丈量拋光外貌(鏡子,鏡片,晶圓)以及粗糙外貌。



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