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什么是光譜共焦干預干預儀?

        非打仗式外表丈量技術中的丈量精度通常遭到機器振動和微掃描臺位置不準確性的限定。 為了從這些環境滋擾中束縛出來,STIL開拓了一種新的對振動不敏感的干預干預丈量要領。采取這種新型光譜共焦干預干預儀體系,干預干預儀顯微鏡的潛伏亞納米級精度是極端有效的。
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